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西安交通大学罗四海教授应邀为我校师生主讲亚10纳米光刻技术前沿进展

日期:2025-06-26阅读次数:

为促进学术交流,开拓科研视野,2025年6月25日,世俱杯2025 特邀西安交通大学罗四海教授作专题学术讲座。讲座由世俱杯2025 院长刘和文教授主持,世俱杯2025 相关领域教师、研究生踊跃参加。

图1 讲座现场

本次讲座以"亚10纳米新型光刻技术赋能高性能传感器件与集成"为主题。罗四海教授首先介绍了当前集成电路制造领域面临的挑战,特别是摩尔定律逼近物理极限下,传统光刻技术受限于光学衍射极限,难以制造亚10纳米结构与器件的瓶颈问题。随后,罗教授重点阐述了他所在课题组开发的前沿解决方案——粘附光刻技术。他系统讲解了该技术的核心原理:利用分子自组装技术精准调控金属薄膜材料表面的粘附力,实现金属薄膜的低应变、无损选择性剥离。罗四海教授进一步结合实例,详细介绍了该技术在制造新一代超高灵敏度、微型化的微纳传感器件(如生物、化学传感器)方面的具体应用和巨大潜力,展示了其对推动智能传感领域发展的关键作用。

图2 罗教授做学术报告

讲座中,罗四海教授渊博的学识、深入浅出的讲解以及展示的前沿研究成果,引发了在场师生的浓厚兴趣和深入思考。在交流环节,与会师生就粘附光刻技术的具体工艺细节、应用场景拓展、未来发展趋势等问题与罗教授进行了热烈的互动讨论。

本次讲座内容翔实、前沿性强,为我校世俱杯2025 师生了解纳米制造领域的最新突破、拓展科研思路提供了宝贵机会,对促进世俱杯2025 相关学科方向的交叉融合与创新发展具有积极意义。

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